音圈电机精密定位平台提升太赫兹时域光谱仪检测能力

音圈电机具备一下优点：

1.构造简易，体型小;
2. 动子品质轻，快速，高加快，高回应 ;
3. 高频，高频率回应性好；
4. 零涡流损耗，零磁槽效用；
5. 相互配合适合组织反馈调节精度等级可达纳米技术；
6. 行程：1mm-50mm;
7. 最高值推动力：1N-5000N ;
8. 集成化高精密滑轨，集成化高精密光栅尺伺服电机，可以达到精确定位；

当光栅尺和读值头的精密度均设定为20μm时，数据采集时，获得的太赫兹光谱仪时域数据信号在4.8THZ以前数据信号稳定，提升设备的总体检验特性。当音圈电机4的行程从8mm更改为16mm，则依据光程＝2*行程/光的速度，相匹配的光程从53ps提高到106ps，反射面检测能够精确测量的样品的壁厚范畴从53*c/n＞d＞0提高到了106*c/n＞d＞0，一样地，散射检测能够精确测量的样品的壁厚范畴从53*c/(n-n0)＞d＞0提高到了106*c/(n-n0)＞d＞0，在其中，n为样品的折光率、c为光的速度、n0为气体的折光率，n0取1。提升音圈电机4的行程，可以提升检测样品的壁厚范畴，提高对样品内部结构问题的检验工作能力。